Introduction

• Chemical 耐透過性が優れておりTankの의寿命延長。
• 鍛接性が優れており、Tankの耐久性を高める。
• 優秀な表面平滑性で洗浄速度を早くする。
• Glass Backingとの強い接着力を持っている。
• 国内Tank Makerとの継続的な施工技術の交流を通してLining Sheetの最高の性能を得るようにしている。

Item

• APV Sheet
• PFA G/B Sheet 外
• Daikin New PTFE G/B Sheet

Introduction

• 優れた耐熱性、耐薬品性、耐候性に 鎔融成形可能。
• 透明性が高く、高温での機械的強度が非常に優れてチューブや継ぎ目、ウエハキャリアなどの成形が可能である。
• 高純度グレードであるSHシリーズは、フッ素イオンや微粒子の溶出が少なく半導体製造ラインに最適。

Item

• PFA Resin
• PTFE Powder
• CPT Resin 外

Introduction

• 薬品に含まれているBubbleを効率的に除去して、ポンプによる脈動を減少させる。
• 流量計のBubbleによる計測誤差を減少させる。
• 別の動力なしで既存のポンプ後段に設置。
• 内部に駆動部がなくParticle発生の恐れが無い。