Clean & Green Hi Technology

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Developer Management System (Nagase OEM)

DPF (Developer Purification & Filtration System)

Introduction

  • 使用Nano filter 把溶解到 Photo Resist的废液去除后 重复使用的系统

Application

  • DPF (Developer Purification & Filtration System)

DDS-11

Introduction

  • 把Developer的 现像液Sampling后 保持浓度(Alkali/Resist/碳酸盐)恒定的系统

Application

  • DDS-11

管理项目

  • Alkali 浓度 : 导电率测定
  • 溶解Resist 成分 : 吸光度测定
  • 碳酸盐浓度 : 折射率测定